基于分形小波变换的MEMS动态模糊图像亚像素检测技术

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 6次 | 上传用户：yingying0615

【摘要】

：

基于机器微视觉的微机电系统(MEMS)动态测试系统,提出了一种分形小波变换亚像素检测技术提取MEMS运动轨迹算法.该算法结合电耦合器件(CCD)成像机理,利用图像的分形参数进行随机分形插值对图像边缘进行重建,通过小波变换实现重建后图像亚像素精度的边缘检测.在连续光照明条件下,对MEMS平面微运动模糊图像进行检测处理,提取和分析了MEMS运动轨迹.将该方法和在频闪条件下测得的MEMS器件的平面微运动

【作者】

：

陈治胡晓东傅星胡小唐

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2009年03期

【关键词】

：

微机电系统动态测试模糊图像分形插值小波变换 micro electro mechanical system （MEMS） dynamic test

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划（863计划）项目（2006AA042327）,国家自然科学基金资助项目（50505031）,新世纪优秀人才支持计划资助项目.

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