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系统研究在空气气氛下热处理温度对真空蒸发法制备Au/CdZnTe电极接触特性的影响。结果表明,在353-373K温度范围内进行热处理可以获得更优化的电极接触性能,测试得到电极与CdznTe接触势垒较低,接触电阻较小,欧姆系数最佳,并且不会破坏CdZnTe体材料本身的性能。而当热处理温度高于400K时,Au电极沉积表面形貌明显变差,CdZnTe样品的漏电流大幅增加。这可能是由于随着热处理温度的增加,CdZnTe体材料表面的Cd升华加剧,产生大量的Cd空位引起的。