【摘 要】
：
在不同温度下,利用射频等离子体增强型MOCVD系统,在蓝宝石C面上生长出了C轴单一取向的ZnO薄膜,并通过XRD、SEM手段对生长温度与样品的生长速度、表面结构和氧锌原子化学计量
【机 构】
：
吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,
论文部分内容阅读
在不同温度下,利用射频等离子体增强型MOCVD系统,在蓝宝石C面上生长出了C轴单一取向的ZnO薄膜,并通过XRD、SEM手段对生长温度与样品的生长速度、表面结构和氧锌原子化学计量比的关系作了较为详细的研究,优化了薄膜的温度生长参数。当生长温度为520oC时,ZnO薄膜的生长速度最大且表面粗糙度较低。当温度为550oC时,可生长出O:Zn为49.99:50:01的近本征ZnO薄膜。
At different temperatures, a single-oriented C-axis ZnO thin film was grown on the C-plane of sapphire by RF plasma-enhanced MOCVD system. The growth temperature and the growth rate of samples, the surface structure and the content of zinc oxide Atomic stoichiometry of the relationship between a more detailed study, optimizing the film temperature growth parameters. When the growth temperature is 520oC, the growth rate of ZnO films is the largest and the surface roughness is low. When the temperature is 550oC, near-intrinsic ZnO thin films with O: Zn of 49.99: 50: 01 can be grown.
其他文献
从MPEG-2标准系统层的结构和DVB组织实施标准着手,并深入研究了系统时间同步机制、复用控制策略等,采用基于DSP的并行处理技术,实现了可同时进行6路复用的DVB系统级复用器。
AutoCAD有多种绘制三维实体的方法 ,但一般的建模方法比较复杂 ,不易掌握或绘制的时间较长 .经过实践与比较 ,认为体素拼合法是一种最为简单的方法 .该方法建模简单 ,易于掌握 ,可以快速、精确地绘制复杂的三维实体
介绍了用化学气相法沉积大面积透明SnO2:F膜的制作与原理.提出了一种大面积透明SnO2:F膜的腐蚀成型方法,即用通用抗蚀干膜经曝光、显影形成所要图形,用稀释的粘接剂与锌粉按
目的研究玻璃体腔内注射贝伐单抗后渗出性年龄相关性黄斑变性(AMD)、增生性糖尿视网膜病变(PDR)患者视力、闪光视网膜电图(ERG)明视负向反应(PhNR)和黄斑神经上皮层厚度(CRT)
目的 探讨Survivin和Caspase-3在子宫平滑肌肿瘤中的表达及其意义,在富于细胞型平滑肌瘤和子宫平滑肌肉瘤的鉴别诊断中的意义.方法 采用免疫组织化学二步法分别检测30例富于
一种基于TMS320C6000 DSP芯片的视频解码器的设计.该解码器能脱离计算机而独立运行,且能高效实时地实现视频解码功能.因系统需要软件和硬件协同工作,故硬件实现分两步进行,以
利用时间分辨光谱研究了(AlxGa1-x)0 51In0 49P合金的时间衰退过程,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象.这和变温发光谱中谱峰的Z-型依赖关系相吻合.这种现象明显表明了
首先介绍了DVD读出系统对像差的要求,然后针对DVD光学头兼容CD盘片的要求介绍了刻环型双焦点物镜的基本结构和工作原理.详细介绍了适当的球面近轴参数的选取,包括使制造偏心
光学偏振玻璃大约是15年前研制和开发出来的,投入市场后,以其优异的性能在偏振片领域独占一方,尤其是在光纤传感器和高性能大屏幕液晶显示领域,光学偏振玻璃占据了主导产品的
采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料。测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料。