利用EBIC测定GaP LPE样片的少子扩散长度

来源 :云南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lsj111
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对电子束入射方向与结面平行情形中电子束感生电流(EBIC)曲线线形进行了理论分析.阐述了E-BIC的基本原理和计算方法,并利用EBIC对一组GaP绿色LED用LPE样片进行少子扩散长度测量.
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