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通过在基片的下方放置磁铁,在放电空间中引入了纵向的磁场梯度.在这种情况下,辉光外貌发生显著收缩.同时,沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.利用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.
梯度磁场中薄膜厚度梯度
【摘 要】
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通过在基片的下方放置磁铁,在放电空间中引入了纵向的磁场梯度.在这种情况下,辉光外貌发生显著收缩.同时,沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.利用磁场中带电粒子的运动理
【机 构】
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苏州大学物理系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2002年3期
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