Microstructure and physical properties of PVD TiN/（Ti, Al）N multilayer coatings

来源 :Transactions of Nonferrous Metals Society of China | 被引量 : 0次 | 上传用户：bmhk1002

【摘要】

：

Magnetron sputtered (Ti, Al) N monolayer and TiN/(Ti, Al) N multilayer coatings grown on cemented carbide substrates were studied by using energy dispersive X-r

【作者】

：

吴恩熙陈利尹飞汪秀全

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofPowderMetallurgy,ZhuzhouCementedCarbideCuttingToolsCo.

【出处】

：

Transactions of Nonferrous Metals Society of China

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

钛锡多层结构涂层微观结构物理性能金属表面防护 PVD （Ti Al）N monolayer coating TiN/（Ti Al）N mul

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Magnetron sputtered (Ti, Al) N monolayer and TiN/(Ti, Al) N multilayer coatings grown on cemented carbide substrates were studied by using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), scanning electron microscopy (SEM), nanoindentation, Rockwell A indentat

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