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借助二次离子质谱（ＳＩＭＳ）技术，深入地、系统地分析了８０ｋｅＶ，２×１０１５ｃｍ－２ＢＦ＋２注入多晶硅栅在常规热退火条件下，Ｆ在多晶硅栅中的分布及迁移特性．Ｆ在多晶硅栅中的迁移，不但存在着扩散机制，而且还存在着发射和吸收机制，据此成功地解释了实验结果
BF_2~+注入多晶硅栅常规热退火氟迁移特性的二次离子质谱分析
【摘 要】
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借助二次离子质谱（ＳＩＭＳ）技术，深入地、系统地分析了８０ｋｅＶ，２×１０１５ｃｍ－２ＢＦ＋２注入多晶硅栅在常规热退火条件下，Ｆ在多晶硅栅中的分布及迁移特性．Ｆ在多晶硅栅中的迁移，不但存在着扩散机制，而且还存在着发射和吸收机
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,骊山微电子研究所
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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1997年08期
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