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分析了我国以往电子气体的现状，介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法，对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料
【摘 要】
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分析了我国以往电子气体的现状，介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法，对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
【机 构】
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光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2008年4期
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