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制备条件对ＦｅＣｏＮ薄膜的结构与磁性有重要的影响。选择合适的基片温度和退火方式，可以用溅射方法制备出具有高饱和磁化强度的ＦｅＣｏＮ薄膜。
高饱和磁化强度FeCoN薄膜的制备
【摘 要】
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制备条件对ＦｅＣｏＮ薄膜的结构与磁性有重要的影响。选择合适的基片温度和退火方式，可以用溅射方法制备出具有高饱和磁化强度的ＦｅＣｏＮ薄膜。
【机 构】
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清华大学,清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,天津大学
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1999年3期
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