【摘 要】
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本文就提高俄歇能谱相对灵敏度因子法的定量精度进行了探讨。结果表明,该法的定量精度与探束电压和谱线的选择、强度的获得方法和采样方式、相对灵敏度因子本身的精度和来源
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本文就提高俄歇能谱相对灵敏度因子法的定量精度进行了探讨。结果表明,该法的定量精度与探束电压和谱线的选择、强度的获得方法和采样方式、相对灵敏度因子本身的精度和来源等因素有关。对几种已知的试样计算表明,如果上述条件选择适当,对灵敏度因子重新计算并进行溅射效应修正,其定量精度存目前条件下可提高近两个数量级。由溅射引发的表面相对强度变化约50％。
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