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本文论证了面结型低压齐纳二极管的击穿机理为隧道击穿，提出了一种新型的面结型低压齐纳二极管的结构，以及相应于此种结构的工艺流程，论述了衬底材料的选择等问题，实验结果表明，此种结构是成功的，做出符合用户要求的低压齐纳二极管。
低压齐纳二极管的研制
【摘 要】
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本文论证了面结型低压齐纳二极管的击穿机理为隧道击穿，提出了一种新型的面结型低压齐纳二极管的结构，以及相应于此种结构的工艺流程，论述了衬底材料的选择等问题，实验结果表明，此
【机 构】
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山东工业大学电子工程系,山东工业大学数理系
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1996年2期
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