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期刊论文
AMHS在集成电路产业的发展趋势分析
AMHS在集成电路产业的发展趋势分析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xhbtbyrr
【摘 要】
:
阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统
【作 者】
:
上海新创达智能科技有限公司
【机 构】
:
上海新创达智能科技有限公司,上海,201306
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2018年3期
【关键词】
:
自动物料搬运系统
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空中走行式穿梭车
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阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势.
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