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在对传统激光三角位移传感结构分析的基础上，提出了一种新的结构设计方案，推导出了相应的测距方程表达式。并对其进行了理论分析，表明此结构设计方案是可行的，并臣在探测器尺寸一定的情况下利用此结构可以大大地提高测量范围。
一种改进型高精度激光三角位移传感器的结构设计研究
【摘 要】
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在对传统激光三角位移传感结构分析的基础上，提出了一种新的结构设计方案，推导出了相应的测距方程表达式。并对其进行了理论分析，表明此结构设计方案是可行的，并臣在探测器尺寸一
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,中国人民解放军理工大学理工学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2007年6期
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