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运用能量法分析了两端固支多层梁在静电作用下的弯曲情况及发生吸合现象时，梁中央的归一化位移β和对应的吸合电压VPI得到了β和VPI的解析表达式。用Coventor软件中的CoSolveEM模块进行了模拟，结果表明该解析模型具有较高的精度。
两端固支多层梁吸合电压的解析模型
【摘 要】
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运用能量法分析了两端固支多层梁在静电作用下的弯曲情况及发生吸合现象时，梁中央的归一化位移β和对应的吸合电压VPI得到了β和VPI的解析表达式。用Coventor软件中的CoSolveE
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,合肥工业大学理学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年11期
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