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本文对利用声光可调滤光器测量薄膜的光学厚度进行了理论探讨,并在实验中加以证实。
声光滤光器在膜厚测量上的应用
【摘 要】
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本文对利用声光可调滤光器测量薄膜的光学厚度进行了理论探讨,并在实验中加以证实。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所成都,610209,成都,610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1993年5期
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