【摘 要】
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通过将水溶性石墨烯掺入至光引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮和季戊四醇三丙烯酸酯混合而成的光刻胶中,利用飞秒激光双光子聚合技术制作一系列平面图案及三维
【机 构】
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宁波大学 理学院 微电子科学与工程系,浙江 宁波,315211;宁波大学 信息科学与工程学院 电子信息科学与技术系,浙江 宁波,315211
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通过将水溶性石墨烯掺入至光引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮和季戊四醇三丙烯酸酯混合而成的光刻胶中,利用飞秒激光双光子聚合技术制作一系列平面图案及三维立体结构。利用亲水角测试表征混合物的浸润性,激光透过深度测试表征混合物的穿透性。实验结果证明,掺杂有水溶性石墨烯的混合液与玻璃仍具有较强结合力和一定激光穿透性。最后利用拉曼成像与扫描电子显微镜表征平面图案及三维结构。证实使用去离子水作为分散液可以将水溶性石墨烯掺杂进微结构中,并且掺杂有水溶性石墨烯的微结构在机械性能上比纯光刻胶微结构,结构更稳定且形貌更统一。
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