【摘 要】
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采用磁控溅射法,在304不锈钢上制备Cr/WC/DLC多层梯度过渡类金刚石薄膜,利用场发射扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱仪（Raman）、纳米压痕仪、划痕测试仪等分析薄膜的微观结构和力学
【机 构】
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兰州理工大学材料科学与工程学院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋新材料与应用技术重点实验室
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采用磁控溅射法,在304不锈钢上制备Cr/WC/DLC多层梯度过渡类金刚石薄膜,利用场发射扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱仪（Raman）、纳米压痕仪、划痕测试仪等分析薄膜的微观结构和力学性能,利用UMT-3多功能摩擦磨损试验机考察其在大气、去离子水、发动机油3种环境下的摩擦学性能。结果表明：该薄膜的多层梯度设计使其膜基间结合力得到了有效改善,且硬度高达32.6GPa,在3种环境下均具有优异的摩擦学性能。在大气环境下,薄膜具有较低的平均摩擦因数,为0.094;但具有3种环境下最大的磨损率,为7.86&#
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