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从离焦效应和球差效应出发,分析了它们对高分辨率电子显微镜分辨率和通带宽度的影响,得出了最佳欠焦量下分辨率与球差系数和电子波长的关系.在最佳欠焦条件下,分辩率与球差系数的-(1/4)次方成正比,与电子波长的-(3/4)次方成正比,通带宽度随欠焦量绝对值的增大而减小.
离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响
【摘 要】
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从离焦效应和球差效应出发,分析了它们对高分辨率电子显微镜分辨率和通带宽度的影响,得出了最佳欠焦量下分辨率与球差系数和电子波长的关系.在最佳欠焦条件下,分辩率与球差系
【机 构】
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沈阳工业大学理学院
【出 处】
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沈阳工业大学学报
【发表日期】
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2003年6期
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