溅射功率对TiO2薄膜结构与特性的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：standups_wu

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法，在室温和不同功率条件下，在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜。运用X射线衍射（XRD）仪、能谱仪、拉曼（Raman）光谱仪、PL光谱、紫外-可见（UV-VIS）分光光度计

【作者】

：

刘贵昂杨贵进郑妃盛

【机构】

：

湛江师范学院物理系

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

TIO2薄膜溅射功率退火光催化亚甲基兰 TiO2 thin films Sputtering power Annealing Photocatal

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用射频磁控溅射法，在室温和不同功率条件下，在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜。运用X射线衍射（XRD）仪、能谱仪、拉曼（Raman）光谱仪、PL光谱、紫外-可见（UV-VIS）分光光度计等对样品进行了表征分析。分析结果表明：当溅射功率小于100w时，在soda-lime玻璃衬底上制备的TiO2薄膜为无定形结构。当溅射功率大于等于150w时，所得TiO2薄膜中出现锐钛矿结构。在本实验中，随溅射功率的增加，TiO2薄膜的结晶越好，晶粒的粒径不断增大且沿（101）取向生长。当在氧气气氛中50

其他文献

超高压对植物乳杆菌能量代谢影响的研究

以植物乳杆菌ATCC8014为试材，研究超高压对其能量代谢的影响。建立了用氯化碘硝基四唑紫测定ATCC8014的INT代谢还原活性的比色法。用比色法测定了超高压对ATCC8014的INT代谢还

期刊

超高压植物乳杆菌能量代谢葡萄糖利用INT代谢还原活性High hydrostatic pressure （HHP） Lactobacillus p

类金刚石薄膜光学特性的椭偏法研究

本文采用脉冲电弧离子镀的方法,在p型硅上沉积类金刚石薄膜,用椭偏法测试薄膜的光学常数.根据沉积方法的特点,建立一个四层结构的膜系,并由每一层的吸收情况合理选择色散关系

期刊

类金刚石薄膜椭偏仪光学常数Diamond-like carbon film Ellipsometer Optical constant

p型透明导电氧化物薄膜的研究进展

p型透明导电膜是近来发现的一种新型的材料,在透明有源器件、传感器、透明电极和电路等方面具有广泛的潜在应用.近来在这方面的研究取得了一些突出的进展.本文主要综述了关于

期刊

半导体薄膜p型透明导电膜综述透明氧化物透明有源器件Semiconductor thin films p-type transparent condu

激光源原子氧对Kapton薄膜和Kapton／Al薄膜二次表面镜性能的影响

在模拟空间环境原子氧暴露条件下，采用激光源原子氧对热控涂层材料Kapton薄膜、Kapton／Al薄膜二次表面镜进行了不同剂量的暴露试验。研究了这两种材料的质量损失、表面形貌随原

期刊

激光源原子氧热控涂层Kapton薄膜Kapton/Al薄膜二次表面镜太阳吸收比Laser induced atomic oxygen Thermal

Test analysis of detection of damage to a complicated spatial model structure

A two-stage damage detection approach is proposed and experimentally demonstrated on a complicated spatial model structure with a limited number of measurements

期刊

结构损伤检测空间模型特征系统实现算法试验损坏程度加速度响应破坏模式梁柱连接Damage detection. Complicated struc

无因管理关系中的护患纠纷防范

目的分析2007～2008年构成无因管理关系病例中存在的法律关系，探索有效的护理措施，防范护惠纠纷。方法通过加强护理人员的法律知识培训和教育，充分认识无因管理关系产生的原因，正确

期刊

护理无因管理护患纠纷防范

抗反馈抑制的天冬氨酸激酶基因在钝齿棒杆菌中的表达

将来自钝齿棒杆菌(Corynebacterium crenatum)CD945具有AEC抗性的天冬氨酸激酶(AKfbr)基因克隆到穿梭载体pJC1上,构建重组质粒pLY153.用电击法将质粒pLY153转化到野生型菌株C

期刊

钝齿棒杆菌天冬氨酸激酶赖氨酸Corynebacterium crenatum Aspartate kinase L-Lysine

冠心病血运重建术后数据管理及随访系统的研究

以国家重大科技支撑项目＂冠心病血运重建术后中医综合干预＂的多中心临床研究为载体,探讨构建随访及临床试验数据管理系统,实现院内住院病人信息的自动采集和院外病人的实时远程

期刊

冠心病血运重建术临床试验数据管理电子随访管理

Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响

采用磁控溅射方法制备了不同Ag层厚度的NiCo/Ag多层膜,研究了Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜微结构及其磁学性能的影响.研究结果表明,NiCo/Ag多层膜中NiCo层在FCC的Ag层上准外延生

期刊

NiCo/Ag磁性多层膜磁控溅射微观结构磁学性能

阳极弧等离子体制备纳米镍粉的微结构研究

利用X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）和相应选区电子衍射（SAED）等测试手段，对阳极弧放电等离子体技术制备的不同晶粒尺寸的纳米镍粉体的晶体结构、晶格参数、形貌、粒度进行性

期刊

镍纳米粉晶体结构晶格常数晶格膨胀Ni nanopowders Crystal structure Lattice constant Lattice

溅射功率对TiO2薄膜结构与特性的影响

与本文相关的学术论文