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声表面波滤波器封盖技术的研究
声表面波滤波器封盖技术的研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angelboy8100
【摘 要】
:
声表面波滤波器(SAWF)广泛应用于有线和无线通讯中.声表面波滤波器的封盖过程对声表面波滤波器的性能有着非常重要的影响.炉内气氛的选择,封盖过程中的温度控制,炉内气压的控
【作 者】
:
石教华
马莒生
【机 构】
:
清华大学材料系电子材料与封装技术研究室
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2002年5期
【关键词】
:
声表面波滤波器
陶瓷基板
金属盖板
封盖技术
SAWF
SAW filter
ceramic substrate
metal lids
sealing proc
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声表面波滤波器(SAWF)广泛应用于有线和无线通讯中.声表面波滤波器的封盖过程对声表面波滤波器的性能有着非常重要的影响.炉内气氛的选择,封盖过程中的温度控制,炉内气压的控制是影响封盖质量的主要因素.选择氮气95%、氢气5%的混合气体封盖,并采用合适的温度曲线可以得到很好的封盖结果.
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