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采用分子自组装技术在玻璃基片表面制备了十八烷基三氯硅烷自组装单层膜（OTS-SAMs），并在功能化的基板表面诱导生成铁酸铋（BiFeO3）薄膜，采用接触角测试仪、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）和能谱分析（EDS）测试手段对OTS膜和BiFeO3薄膜进行了表征。实验结果表明，在SAMs功能化的玻璃基底上所制备的铁酸铋薄膜结晶良好，薄膜表面平整光滑，结构致密均一，而且形成BiFeO3多晶聚集体，多晶聚集体的大小在2μm左右。