论文部分内容阅读
开发了一种用于中长距离无衍射光直线度误差测量中的长度方向定位的激光标尺。它可精确地测量出长度方向（Z坐标）距离、同时通过它的澈光反射光可以控制无衍射光直线度误差探测器与无衍射光直线基准的垂直度。文中基于相位法激光测距原理提出了激光标尺的电路系统设计方案．并进行了分析与说明．满足了直线度测量的大量程与离精度的要求。