用于光学跟踪的红外位置传感探测器焦平面列阵

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为了将位置传感探测器焦平面列阵用于光学跟踪,必须使列阵具备以下几种特点:元件与元件之间具有均匀的特性,元件之间的间距小,具有用于放大和初始信号处理的紧密集成电路,如果需要的话,还必须能将成千上万个位置传感探测器封装在单个焦平面上。而要满足这些要求,就必须能将上述列阵制备成一种传感器芯片组件(SCA)。
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