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采用石英晶体微量秤技术研究了紫外光诱导Mn(OH)10气相光解离沉积反应,得到Mn2(CO)10气相母体分子浓度与光解离沉积速率呈线性关系,实验结果符合气相分子单光子光解产物形成的速率公式。气相Mn2(CO)10光解离为低配位数的羰基锰,沉积在镀金的石英晶体表面,还研究了不同外加气体下气相Mn(CO)10的光解离沉积速率。