【摘 要】
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常用的干涉系统可测量较大区域但达不到足够的分辨率,干涉显微镜的测量可达较高的分辨率,但测量区域小。本文提出了一种将干涉显微技术和图像拼接结合的微表面三维测试系统。
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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常用的干涉系统可测量较大区域但达不到足够的分辨率,干涉显微镜的测量可达较高的分辨率,但测量区域小。本文提出了一种将干涉显微技术和图像拼接结合的微表面三维测试系统。系统将Mirau显微干涉物镜与压电陶瓷传感器（PZT）结合起来实现相移干涉,从而获取被测件形貌的信息。同时采用精确定位电控平移系统精确定位,实现被测件表面的分区域扫描,并利用子区域图像的重叠区域进行拼接匹配。考虑不同重叠尺度对拼接效率以及拼接质量影响,设定不同比例的重叠区域进行对比实验。实验结果表明重叠区域在20%左右综合效果最好。
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