【摘 要】
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本文根据SOI（Silicon-on-insulator）材料在太赫兹波段不透过太赫兹的特点,提出一种加工基于微机电系统（MEMS）可调谐太赫兹器件的新方案,并设计出与梳齿驱动加工工艺十分兼容的金
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,电子科技大学光电信息学院,首都师范大学物理系
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本文根据SOI（Silicon-on-insulator）材料在太赫兹波段不透过太赫兹的特点,提出一种加工基于微机电系统（MEMS）可调谐太赫兹器件的新方案,并设计出与梳齿驱动加工工艺十分兼容的金属结构。此结构由金属网格和金属谐振环阵列复合构成,静态的测试表明结构在太赫兹波段显出带通滤波的特性,通过改变两个元件之间的位置,能够实现0.410.53THz带通调谐。此结构加工方法简单,加工过程中只需要一块掩膜版,并且金属结构在MEMS梳齿结构释放之前就已经光刻形成,不需要两个图形的对准工艺,同时也避免了后续光
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