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音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究
音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究
来源 :东南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yy692451568
【摘 要】
:
粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要。而品质因数的大小反映了阻尼特性。本文首先理论分析了硅微型机构振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能,然后根据耗能分析给出了驱动
【作 者】
:
裘安萍
蔡体菁
等
【机 构】
:
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
:
东南大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
硅微机械振动陀螺仪
粘滞阻尼
品质因数
音叉式
silicon micromechanical vibratory gyroscope
viscous dam
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粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要。而品质因数的大小反映了阻尼特性。本文首先理论分析了硅微型机构振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能,然后根据耗能分析给出了驱动结构和敏感结构的品质因数。
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