【摘 要】
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使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构.详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模
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使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构.详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模板的CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制,以及微行星齿轮减速器的微装配.目前已经得到了金属镍的厚任?00μm的太阳轮、行星轮,厚度为200 μm的固定内齿轮、旋转内齿轮,其齿数分别为15、11、36、39.用这些微齿轮装配成了一台模数为0.03 mm、减速比为44.2、最大外径为2 mm的微行星齿轮减速器,并将其成功地应用在直
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