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微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研究,提出了多种针对复杂表面磨削用金刚石砂轮的在位精密修整技术,并开发了一系.列的超精密磨削工艺。磨削加工后的单晶硅非球面表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<527nm/140mm;蓝宝石保形整流罩面形精度PV值<25μm/50mm;无结合剂碳化钨微结构表面粗糙度Ra&