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本文主要介绍了生产新型显示器件、集成电路芯片等电子工厂中的化学品供应及回收系统的类型、基本构成、主要安全技术措施等,可供系统优化时参考。
电子工厂化学品供应与回收系统概述
【摘 要】
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本文主要介绍了生产新型显示器件、集成电路芯片等电子工厂中的化学品供应及回收系统的类型、基本构成、主要安全技术措施等,可供系统优化时参考。
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司
【出 处】
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大众科技
【发表日期】
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2013年4期
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