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由半球－平板组成的真空间隙，在单次脉冲高压作用下，用数字化信号分析仪ＤＳＡ６０２Ａ捕获并理论分析了放电电流波形，计算出一定尺寸真空间隙的半球面阴极顶部轴向电场。用优选的离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）工艺参数，沉积出结合强度很高的一些薄膜，各种薄膜能承受９００℃的高温处理，经受数百次高能微粒子轰击后，仍能保持原有的表面状况。单次脉冲电波形的主要参数表明，制作的几种薄膜，在耐压能力方面均有不同程度的改善，