【摘 要】
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【正】加州Palo Alto的斯坦福研究所的 Charles、Spindt博士及其同事于七十年代发明了今天的微尖端正FED的前身.这是一种薄膜发射结构,后来被叫做薄膜场致发光阴极或微尖端正
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【正】加州Palo Alto的斯坦福研究所的 Charles、Spindt博士及其同事于七十年代发明了今天的微尖端正FED的前身.这是一种薄膜发射结构,后来被叫做薄膜场致发光阴极或微尖端正阴极.Sprindt发明的新颖的微尖端制造工艺今天仍在使用.这种工艺的关键步骤是高角度蒸发一层所谓的“牺牲”层或“剥离”层,然后垂直蒸发微尖端金属.随着垂直蒸发的金属在各处的边缘不断堆积,整个表面自然填满,在内腔里形成尖端.最后把牺牲金属层腐蚀掉,上面的金属层便剥离出来.早期的FED器件存在若干问题,造成器件难以稳定、难
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