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期刊论文
微传感器和执行器的计算机模拟技术
微传感器和执行器的计算机模拟技术
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juese1234567
【摘 要】
:
介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用,通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析,优化了器件的结构设计。研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执
【作 者】
:
刘晓为
王蔚
【机 构】
:
哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
压力传感器
微泵
计算机模拟
微传感器
执行器
:pressure sensor
micropump
computer simulation
design
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介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用,通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析,优化了器件的结构设计。研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具。
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