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纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法。
纳米薄膜的制备技术及其膜厚表征方法进展
【摘 要】
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纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2012年03期
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