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本文描述了材料表面改性或优化的新型宽束离子束混合装置。系统含有引出离子不同能量范围的三种离子源。可用于单离子注入,离子束混合,单离子或反应离子束溅射淀积以及离子束增强淀积。它装备有大的水冷却台,可进行各种复杂的运动,以满足处理各种复杂形状的大的工件的需要。本文还对该机的两种使用实例做了介绍。
一台新型的宽束离子束混合装置
【摘 要】
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本文描述了材料表面改性或优化的新型宽束离子束混合装置。系统含有引出离子不同能量范围的三种离子源。可用于单离子注入,离子束混合,单离子或反应离子束溅射淀积以及离子束
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所上海200050,上海200050,上海200050
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年3期
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