【摘 要】
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本文介绍了基于介质阻挡放电（DBD）的KrCl＊准分子灯的光谱、输入功率以及222nm的辐射效率。KrCl＊准分子灯为同轴结构,内管内/外径为14/16mm,外管外径为40mm,壁厚分别为1.2,1.5,2.0
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本文介绍了基于介质阻挡放电（DBD）的KrCl＊准分子灯的光谱、输入功率以及222nm的辐射效率。KrCl＊准分子灯为同轴结构,内管内/外径为14/16mm,外管外径为40mm,壁厚分别为1.2,1.5,2.0mm。灯中充有1.5Torr氯气（Cl2）和148.5Torr氪气（Kr）,总气压为150Torr。灯用方波电源来驱动。222nm的辐射功率由Keitz公式计算得出,而灯电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,管壁越薄效率越高,1.2mm壁厚的KrCl＊准分子灯在方波电源驱动下
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