【摘 要】
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提出一种利用ZEMAX软件设计、分析评价平场全息凹面光栅的方法。该方法不需要求解复杂的高级像差方程组,兼顾平像场和提高分辨率的效果显著。ZEMAX软件能对设计结果迅速进行
【基金项目】
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江苏省高技术研究基金资助项目(BG2004020)
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提出一种利用ZEMAX软件设计、分析评价平场全息凹面光栅的方法。该方法不需要求解复杂的高级像差方程组,兼顾平像场和提高分辨率的效果显著。ZEMAX软件能对设计结果迅速进行评价,减少了人工运算,提高了设计结果的可信度及工作效率。研制了直径Φ=60 mm、F/#=3.3和使用波长范围为652~704 nm的全息凹面光栅,对设计结果分析表明:在点光源再现情况下,理论分辨率优于0.1 nm;在宽度为30μm缝光源再现情况下,理论分辨率优于0.2 nm。实际研制结果与理论分析相符。
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