【摘 要】
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我国气相色谱仪品种虽不少,但是适用于硅烷气中微量杂质分析的产品却为数不多,我们采用四川仪表九厂(亦称四川分析仪器厂)生产的SC—8型气相色谱仪解决硅烷气中的微量杂质分
【机 构】
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广州半导体材料研究所,四川分析仪器厂,
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我国气相色谱仪品种虽不少,但是适用于硅烷气中微量杂质分析的产品却为数不多,我们采用四川仪表九厂(亦称四川分析仪器厂)生产的SC—8型气相色谱仪解决硅烷气中的微量杂质分析,效果较佳,操作方法稍加改进不必更换入气口、出气口的管道,即可连续操作获得所需要的五种杂质含量分析数据。如再
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