【摘 要】
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以化学沉淀法制备HfO2纳米粉体, 借助XRD、SEM、TEM、BET、激光粒度测试仪等测试方法研究了不同制备工艺对HfO2纳米粉料团聚状态的影响.采用初始浓度0.5mol/L的溶液, 稳定溶
【机 构】
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上海大学电子信息材料系,中国科学院上海硅酸盐研究所
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以化学沉淀法制备HfO2纳米粉体, 借助XRD、SEM、TEM、BET、激光粒度测试仪等测试方法研究了不同制备工艺对HfO2纳米粉料团聚状态的影响.采用初始浓度0.5mol/L的溶液, 稳定溶液pH为9、添加表面活性剂PEG、用无水乙醇处理水洗后的湿凝胶、在700℃下煅烧, 能制备无团聚, 平均粒径为25nm, 呈正交晶型的HfO2纳米粉体.200MPa冷等静压成型的素坯在氢气中1800℃保温2h得到96%理论密度的主相为正交相, 有少量单斜相存在的HfO2陶瓷烧结体.
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