GSMBE外延生长GeSi/Si p—n异质结二极管

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rocwingw
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用气态源分子束外延(GSMBE)法生长了掺杂GexSi1-x/Si合金并试制了p-n异质结二极管,X射线双晶衍射和二极管I-V特性表明,GexSi1-x/Si合金的完整性与异质结界面的失配位错是影响异质结二极管反向漏电的主要原因。通过控制GexSi1-x/Si合金的组分及厚度,我们获得了较高质量的GexSi1-x/Si p-n异质结二极管材料,其反向电压为-5V时,反向漏电流密度为6.1μA/cm
其他文献
在IC的制造过程中,由于工艺的随机扰动,过刻蚀和欠刻蚀造成了导线条的宽度和线间距的变化,论文在分析过刻蚀和欠刻蚀的IC版图影像的基础上,提出了基于工艺偏差影响的IC关键面积计
泥石流是一种破坏性非常大的地质灾害,往往易造成群死群伤.湘西州某处泥石流曾于1978年发生过一次泥石流,冲毁房屋35间,死亡11人.受降雨影响,该处泥石流于2018年6月12日17:00
沈阳地铁某换乘车站主体采用盖挖顺做法施工,施工期间须保持路面车辆正常通行,因此,主体基坑第一道钢支撑采用钢桁架梁。文章以钢桁架梁为研究对象,使用Midas Civil软件计算
通过改变贝壳粉煅烧温度的实验方法,研究了在相同贝壳粉掺和比例下,贝壳粉的煅烧温度对于MK砂浆新拌性能,力学性能及耐久性能的影响.实验研究表明:在贝壳粉取代比例为8%的情况
人口老龄化作为人口生态学研究中的一个小的分支,但它对城市化的发展却起着很大的影响,文章主要运用现象分析法,通过对老龄化的现状分析、老龄化的危害,以及在城市化过程中如何应
小学高年级的语文教学, 很多时候采取的是把一篇完整的文章, 按照记叙顺序, 分部分逐步教学. 诚然, 这是一种常见的比较有效的课堂教学模式, 可以让学生细致地了解每一部分的
通讯是运用叙述、描写、抒情、一轮等多种手法,具体、生动、形象地反映新闻事件或典型人物的一种新闻报道形式。它是记叙文的一种,是电视台、广播电台、报纸、通讯社常用的问题
本文报道了用快速加热化学气相淀积方法,乙烯(C2H4)作为C源在Si(100)衬底上生长Si1-x-yGexCy合金薄膜的实验结果,经喇曼(Raman)光谱和傅里叶变换红外光谱(FTIR)测量表明:我们成功地制备了具有一定代位式C含量的Si1-x-yGexCy合金薄膜材
提出了一种有效的基于遗传算法的VLSI布图规划方法。在染色体的表达中,对软模拟不同形状和硬模块的布局方向进行了编码,并设计了有效的启发式解码方法进行解码。测试结果表明,该
21世纪以来,人们对生活的理念、生活方式和对生活质量的追求都有了进一步的提升.在室内环境中,建造室内环境如何实现安全、舒适成为了最主要的问题,暖通的应用提高了人们的生