【摘 要】
：
论述了表征SiO2薄膜致密性的三种方法:红外光谱法、折射率法和腐蚀速率法,分析了它们各自的特点。制备了不同衬底和不同工艺的三个热氧化SiO2薄膜样品,利用红外光谱法和折射
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
论文部分内容阅读
论述了表征SiO2薄膜致密性的三种方法:红外光谱法、折射率法和腐蚀速率法,分析了它们各自的特点。制备了不同衬底和不同工艺的三个热氧化SiO2薄膜样品,利用红外光谱法和折射率法对样品进行了对比测试。结果表明,采用红外光谱法表征SiO2薄膜的致密性时,主特征吸收峰频率不仅与薄膜致密性相关,还与样品的厚度和衬底等因素有关;而折射率法受这些因素的影响较小,是表征SiO2薄膜致密性较为适用的方法。
其他文献
<正>2014年,在国家实施能源生产消费革命战略的背景下,电力生产科学发展,锐意进取,取得了新的成就。电力行业广大干部职工认真学习贯彻落实十八届三中、四中全会精神和党中央
通过不同扦插材料、不同季节和温湿度等对比试验,对黄芩无性繁殖进行研究。结果平均亩产达385kg,最高单产427kg,有效成分黄芩甙含量高达13.4％,超过《药典》不得低于4％的规定,是
低浓度瓦斯利用是矿井瓦斯治理和煤层气产业化发展的新趋势,是保障煤矿安全生产的治本之策,是增加清洁能源供应的有效途径,是加强大气污染防治的重要举措。淮南矿业集团通过
新《劳动合同法》的出台,引起社会强烈的反响,尤其对无固定期限劳动合同,各企业怪招迭出,目的在于规避与劳动者签订无固定期限劳动合同。本文通过对企业与员工的博弈分析,提
在分析船运液态二氧化碳储罐爆炸事故的基础上,近似计算了其物理爆炸的能量,并采用TNT当量计算方法,分别估算了事故的人员死亡区域、重伤区域、轻伤区域的半径和建筑物毁灭性
2010年中铁建沙特麦加轻轨项目发生巨额亏损。通过详细解析该项目在施工过程中所面临的合同风险、工程变更风险、文化风险、汇率风险和政治风险,文章认为造成此次亏损最根本
本文对灵芝石榴保健酒的生产工艺技术进行了研究，结果表明，１００％灵芝浓缩液经７０％乙醇沉淀，石榴原汁以０．１６％单宁和０．１９％明胶处理，勾兑含２％灵芝，１０％石榴汁的１８°灵芝保障酒时，在酒中添加０．３％的增溶剂和０．１０％的β－ＣＤ，得到的酒
一个国家的证券市场健康与否取决于中小股东的权益是否受到了全面保护。在我国,投资者大多享有法律赋予的权利,但是这些权利却由于信息不对称,相关法律不完善,管理层的不完全
企业铁路专线运输作为企业内部物资运输线路,承担着运送物资、保障生产的重任。调车作业作为企业铁路专线运输的重要操作环节,其效率与企业铁路运输的运能与企业生产规模通常
研究了β成核剂和碱式硫酸镁（M-HOS）晶须对聚丙烯（PP）热变形温度及力学性能的影响,并用DSC和广角X射线衍射仪对其进行了表征.结果表明,单独使用0.6%β成核剂和30%M-HOS晶须改性PP