硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析

来源 :吉林大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：jonquil1981

【摘要】

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利用金属铂的热阻、热敏特性, 以及SiO2和SiNx良好的绝热、绝缘特性, 设计一种以铂丝为加热层, 叉指状的金电极为敏感膜信号电极, SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微热板结

【作者】

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杨广立张彤李春明

【机构】

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吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院

【出处】

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吉林大学学报(理学版)

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

硅基微结构气体传感器结构模拟有限元分析稳态过程瞬态过程温度场响应时间 MHP(micro-hotplate) FEA(finite element

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利用金属铂的热阻、热敏特性, 以及SiO2和SiNx良好的绝热、绝缘特性, 设计一种以铂丝为加热层, 叉指状的金电极为敏感膜信号电极, SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微热板结构气敏元件. 并利用有限元分析工具ANSYS, 对所设计的硅基微结构气敏元件的加热器进行了稳态过程和瞬态过程的模拟和分析, 得到了元件表面的稳态热场分布和瞬态响应的分析结果.

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