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本文以InCls。4H2O和SnCl4·5H2O为前驱物，利用溶胶-凝胶法在玻璃载片上旋转涂膜制备掺锡氧化铟透明导电薄膜（ITO薄膜）。采用了紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪、x-射线衍射仪和扫描电镜等对ITO薄膜的透射率、方块电阻、物相组分和结构形貌进行测量与表征。研究了掺锡浓度对ITO薄膜的光电特性的影响。实验结果显示：ITO薄膜的光电特性与掺锡浓度有关，在掺杂溶度为12wt%时，制备出的ITO薄膜最低方块电阻为124，最高透射率为92．85％。