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研究了多弧子沉积（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的性能，并与同一设备下沉积ＴｉＮ膜的性能进行比较，结果表明，（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的力学性能和耐蚀性能均优于ＴｉＮ膜，定量金相分析结果表明，（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的孔隙度比ＴｉＮ膜低得多，文中对多元膜的强化机理进行了讨论，认为孔隙度降低是使多元膜性能大幅度提高的主要原因。