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本文通过分析半导体表面上微粒缺陷散射场的光波传播规律，建立了表面上微粒缺陷场的传输模型和数学模型，使定量计算表面上微粒缺陷的散射场成为可能。进一步将入射场和散射场都表达成球矢量波函数的形式，并考虑表面的二次散射作用，用T矩阵将入射场和散射场的展开项系数连系起来。从而得到散射场与入射场之间的一系列定量表达式，并给出计算结果。