基于原子力显微镜的PMMA飞秒激光纳米加工

来源 :2007中德双边高级专家X射线光学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liyin900101

【摘要】

：

介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的激光近场增强纳米加工方法.探讨了作为主要影响因素的激光场增强效应,用时域有限差分法对AFM探针下光场的空间分布进行了数值分析.研究了

【作者】

：

黄文浩朱兰芳陈宇航言峰周明王翔

【机构】

：

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027江苏大学,材料科学和工程学院,江苏,镇江,212013

【出处】

：

2007中德双边高级专家X射线光学研讨会

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

纳米加工局域场增强 PMMA 原子力显微镜

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介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的激光近场增强纳米加工方法.探讨了作为主要影响因素的激光场增强效应,用时域有限差分法对AFM探针下光场的空间分布进行了数值分析.研究了飞秒激光入射到AFM探针的PMMA材料的图形化,在PMMA材料表面加工了不同宽度的线条和字母.利用AFM对所得纳米图形进行了原位测试.在激光参数未经优化的情况下,其线宽可达100nm,超过了实验室飞秒激光远场加工的分辨能力(200nm).

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