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利用X射线衍射、扫描电镜和电子探针等分析手段对碳热还原法稀土硅铁合金的物相及显微组织进行了分析，合金中的主要物相为Si，RESi2和FeSi2；对合金中的单质硅薄带网状结构，RE-Si2与Si和RESi2与FeSi2两类共晶组织进行了较为详细的讨论，这三种组织形成了合金稳定的结构。同时对合金中的主要杂质元素Ca，Al和Ba的存在形式进行了初步鉴定，Ca主要以固溶态的形式存在，Al和Ba主要以化合物形式存在。在此基础上说明了显微组织结构对合金性能的影响。