Study of Carbon Contaminated Epitaxial Silicon

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dmj_66666

【摘要】

：

The properties of the carbon contaminated silicon epitaxial layer and its surface have been studied by means of JAMP-10Auger electron microprobe and JEM-2000FX

【作者】

：

Li Yuzhen Sun Jiguang Liu

【机构】

：

GeneralResearchInstfor

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

1989年4期

【关键词】

：

CONTAMINATION contaminated EPITAXIAL GRAPHITE MANUFACTURE WAFER coated analysed

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The properties of the carbon contaminated silicon epitaxial layer and its surface have been studied by means of JAMP-10Auger electron microprobe and JEM-2000FX transmission scanning electron microscope.The results show that the fog defectson the surface a

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