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本文研究了N2-Ar流量比对磁控溅射硅基AlN薄膜的影响,实验表明在其它参数一定的情况下,N2-Ar流量比对AlN薄膜元素种类与含量有很大影响,通过实验验证,选择N2-Ar流量比在1.525左右可获得质量较好的AlN薄膜(100取向).
N2-Ar流量比对直流磁控溅射硅基AlN薄膜的影响
【摘 要】
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本文研究了N2-Ar流量比对磁控溅射硅基AlN薄膜的影响,实验表明在其它参数一定的情况下,N2-Ar流量比对AlN薄膜元素种类与含量有很大影响,通过实验验证,选择N2-Ar流量比在1.525
【机 构】
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贵州大学人民武装学院,贵州,贵阳,550025贵州大学理学院,贵州,贵阳,550025;贵州省微纳电子及软件技术重点实验室,贵州,贵阳,550025;贵阳学院,贵州,贵阳,550005;贵州大学理学院
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2010年6期
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