【摘 要】
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对比了目前国内外最新的RH真空处理装置的布置方案,介绍了方案的特点。对典型的真空室快速更换式和双工位的RH工艺方案的处理能力进行了计算和比较。得出结论,双工位是比较理
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对比了目前国内外最新的RH真空处理装置的布置方案,介绍了方案的特点。对典型的真空室快速更换式和双工位的RH工艺方案的处理能力进行了计算和比较。得出结论,双工位是比较理想的RH工艺布置方案,而简单双工位是更经济实用的布置方案。
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